LED衬底背减薄砂轮
时间:2021-10-20 9:35:47浏览量:5609

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产品特性:


该产品具有自锐性好、磨削光洁度高、翘曲量低、崩边小、量率高的特点。


产品应用:


主要用于LED行业蓝宝石外延片,硅晶片,砷化镓,GaN晶片的背面减薄。


加工对象:


蓝宝石外延片、硅晶片、砷化镓、GaN晶片


配套机床:


SHUWA SGM-6301, NTS Nano Surface-180G, WEC, GALAXY, SPEEDFAM


常用规格:


常用砂轮外径175mm、254mm、255mm、303mm、312mm、380mm等