LED衬底背减薄砂轮

产品特性：

该产品具有自锐性好、磨削光洁度高、翘曲量低、崩边小、量率高的特点。

产品应用：

主要用于LED行业蓝宝石外延片，硅晶片，砷化镓，GaN晶片的背面减薄。

加工对象：

蓝宝石外延片、硅晶片、砷化镓、GaN晶片

配套机床：

SHUWA SGM-6301, NTS Nano Surface-180G, WEC, GALAXY, SPEEDFAM

常用规格：

常用砂轮外径175mm、254mm、255mm、303mm、312mm、380mm等